數位時代 - 1 天前查看原文

台積電最耗電的不是製程!先進製程能耗排名揭曉:「空調」才是最大單一用電項目

目前對半導體先進製程的高耗能討論,集中在極紫外光微影設備的使用。本報告指出,總體而言製程用電僅佔全廠耗電約 46.1%,另外超過五成的能源消耗則是來自無塵室、外氣空調、冷卻系統、超等設備構成;其中,空調系統更是最大的單一用電項目。
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