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陽明交大開發深紫外光超穎透鏡 助力半導體檢測

陽明交大團隊開發深紫外光超穎透鏡,具有輕薄短小、開發自由度高等特性,未來可應用於矽光子元件加工製造、生醫影像檢測、 半導體 檢測等領域。 陽明交通大學今天發布新聞稿指出,波長比紫外線UVA、UVB還短的深紫外光,在半導體與生醫影像等領域應用廣泛,但控制元件往往造價不菲,導致應用受到侷限。 陽明交大電子研究所團隊開發出一款超穎透鏡,能成功駕馭深紫外光,這款輕薄短小、高效能的深紫外光超穎透鏡,厚度僅380 奈米 ,遠小於人類的頭髮,光學操控卻能達到深紫外光聚焦的極限,這項突破也獲選為國際期刊「Nano Letters(奈米通訊)」封面故事。
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